[实用新型]离子源的阳极结构

说明书

本实用新型揭示了一种离子源的阳极结构，其包括阳极部、进水部、出水部、分隔部以及盖板部；阳极部设有阳极放电室以及主体，阳极放电室贯穿设于主体的中心位置，主体的内壁套设于阳极放电室外，且主体的内壁与阳极放电室的外壁之间具有间隔空间。进水部包括进水孔以及第一调节孔，进水孔分别与第一调节孔以及间隔空间连通。并与进水部相邻，出水部包括出水孔以及第二调节孔，出水孔分别与第二调节孔以及间隔空间连通。分隔部设于间隔空间内，且位于进水孔与出水孔之间的位置。盖板部覆设于间隔空间。进水孔、间隔空间、出水孔以及盖板部配合形成了冷却水道。本申请结构简单，简化了生产制造的步骤，还使得阳极离子源结构紧凑，体积小。

技术领域

本实用新型涉及离子源技术领域，具体地，涉及一种离子源的阳极结构。

背景技术

离子源是一门用途广，类型多、涉及科学多、工艺技术性强、发展十分迅速的应用科学技术。霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化，等离子化后的气体通过阳极的加速，将气体离子分离并形成离子束。

霍尔离子源作为一种十分常用的离子源类型，多应用于薄膜沉积领域，作为沉积辅助部件，提高薄膜物理特性，随着薄膜材料和表面处理技术的发展，人们对离子源的应用需求不断提高，阳极离子源技术也得到了快速的发展。在现有的线性阳极离子源中，其水冷系统采用的是在阳极内部埋设6mm-8mm直径的空心管，通过向空心管内提供大流量的循环冷却水对阳极进行间接冷却，但是这种水冷系统不仅制造复杂，而且对阳极的冷却效果并不好。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种离子源的阳极结构。

本实用新型公开的一种离子源的阳极结构包括：

阳极部，其设有阳极放电室以及主体，阳极放电室贯穿设于主体的中心位置，主体的内壁套设于阳极放电室外，且主体的内壁与阳极放电室的外壁之间具有间隔空间；

进水部，其与主体的外壁连接，进水部包括进水孔以及第一调节孔，进水孔分别与第一调节孔以及间隔空间连通；

出水部，其与主体的外壁连接，并与进水部相邻，出水部包括出水孔以及第二调节孔，出水孔分别与第二调节孔以及间隔空间连通；

分隔部，其设于间隔空间内，且位于进水孔与出水孔之间的位置

盖板部，其覆设于间隔空间；

进水孔、间隔空间、出水孔以及盖板部配合形成了冷却水道。

根据本实用新型一实施方式，间隔空间底部设有第一连接孔，分隔部内设有第二连接孔，第一连接孔与第二连接孔连通。

根据本实用新型一实施方式，阳极部还包括安装槽，安装槽设于间隔空间上，且安装槽与间隔空间连通；盖板部包括第一盖板以及第二盖板，第二盖板与第一盖板的底部连接，第一盖板设于安装槽内，第二盖板设于间隔空间内。

根据本实用新型一实施方式，第一盖板的宽度大于第二盖板的宽度。

根据本实用新型一实施方式，进水部为圆柱，进水孔沿进水部的直径方向设置，第一调节孔沿进水部的轴向设置。

根据本实用新型一实施方式，出水部为圆柱，出水孔沿出水部的直径方向设置，第二调节孔沿出水部的轴向设置。

根据本实用新型一实施方式，阳极部的纵截面为圆形。

根据本实用新型一实施方式，阳极部还包括多个安装孔，多个安装孔分设于阳极部的边缘。