[实用新型]一种膜厚均匀的溅射镀膜机有效
| 申请号： | 202222548765.1 | 申请日： | 2022-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN218491835U | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 章斌铖 | 申请（专利权）人： | 赛福仪器承德有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 合肥利交桥专利代理有限公司 34259 | 代理人： | 刘冉 |
| 地址： | 067000 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种膜厚均匀的溅射镀膜机，包括：溅射镀膜机本体、马达和微型伺服电机，所述溅射镀膜机本体的左端固定安装有真空泵，所述溅射镀膜机本体的内端滑动安装有底座，所述底座的上端转动安装有靶材，所述靶材的内端设置有磁条，所述马达固定安装在溅射镀膜机本体的下端，所述马达的输出端固定安装有支撑杆，所述支撑杆的上端固定安装有安装板，所述马达的输出端固定安装有齿轮，所述齿轮的外端啮合连接有链条，所述微型伺服电机固定安装在安装板的上端，所述微型伺服电机的输出端固定安装有螺纹丝杆。该膜厚均匀的溅射镀膜机，方便对镀膜零件进行限位，安拆方便快捷，方便均匀镀膜，材料可被均匀利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 均匀 溅射 镀膜 | ||
【主权项】：
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