[实用新型]一种膜厚均匀的溅射镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种膜厚均匀的溅射镀膜机，包括：溅射镀膜机本体、马达和微型伺服电机，所述溅射镀膜机本体的左端固定安装有真空泵，所述溅射镀膜机本体的内端滑动安装有底座，所述底座的上端转动安装有靶材，所述靶材的内端设置有磁条，所述马达固定安装在溅射镀膜机本体的下端，所述马达的输出端固定安装有支撑杆，所述支撑杆的上端固定安装有安装板，所述马达的输出端固定安装有齿轮，所述齿轮的外端啮合连接有链条，所述微型伺服电机固定安装在安装板的上端，所述微型伺服电机的输出端固定安装有螺纹丝杆。该膜厚均匀的溅射镀膜机，方便对镀膜零件进行限位，安拆方便快捷，方便均匀镀膜，材料可被均匀利用。

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜机相关技术领域，具体为一种膜厚均匀的溅射镀膜机。

背景技术

溅射镀膜机是真空镀膜设备的其中一种，磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术。

但现有的溅射镀膜机，镀膜厚度不够均匀，不方便对镀膜的产品进行限位，不方便对材料进行均匀利用，因此我们提出一种膜厚均匀的溅射镀膜机，以便于解决上述中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种膜厚均匀的溅射镀膜机，以解决上述背景技术中提出的现有的溅射镀膜机，镀膜厚度不够均匀，不方便对镀膜的产品进行限位，不方便对材料进行均匀利用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种膜厚均匀的溅射镀膜机，包括：

溅射镀膜机本体，所述溅射镀膜机本体的左端固定安装有真空泵，所述溅射镀膜机本体的内端滑动安装有底座，所述底座的上端转动安装有靶材，所述靶材的内端设置有磁条；

马达，所述马达固定安装在溅射镀膜机本体的下端，所述马达的输出端固定安装有支撑杆，所述支撑杆的上端固定安装有安装板，所述马达的输出端固定安装有齿轮，所述齿轮的外端啮合连接有链条；

微型伺服电机，所述微型伺服电机固定安装在安装板的上端，所述微型伺服电机的输出端固定安装有螺纹丝杆，所述螺纹丝杆的上端转动安装有连接环。

优选的，所述螺纹丝杆的外端螺纹连接有移动块，所述移动块的外端转动安装有伸缩机构，所述伸缩机构的顶端转动安装在连接环的外端。

优选的，所述伸缩机构的外端固定安装有置物杆，所述置物杆的内端固定安装有弹簧的上端。

优选的，所述弹簧的下端固定安装有拉杆，所述拉杆的外端固定安装有卡合条。

优选的，所述链条的前端转动安装有齿盘，所述齿盘的外端啮合连接有齿杆。

优选的，所述齿杆固定安装在底座的下端，所述齿杆卡合安装在溅射镀膜机本体的下端。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.设置有置物杆、弹簧、拉杆和卡合条，当放置镀膜零件的时候，向下拉动拉杆，然后卡合条收缩，将零件套在置物杆的上端，然后松开拉杆，卡合条即可在弹簧的弹力作用下卡合在镀膜零件的内部，方便对镀膜零件进行限位，安拆方便快捷；

2.设置有微型伺服电机、螺纹丝杆和伸缩机构，微型伺服电机的输出端在转动的时候带动螺纹丝杆转动，螺纹丝杆在转动的时候通过连接环和移动块带动伸缩机构进行伸缩，从而带动镀膜零件上下移动，使溅射更加均匀，方便均匀镀膜；

3.设置有链条、齿轮、齿盘和齿杆，马达的输出端通过齿轮带动链条转动，链条的前端通过齿轮嗲嗲齿盘转动，齿盘带动齿轮左右移动，从而带动底座和靶材左右移动，使材料被均匀利用。

附图说明

图1为本实用新型正视剖切结构示意图；

图2为本实用新型俯视剖切结构示意图；