[实用新型]一种擦拭工装有效
| 申请号： | 202222461221.1 | 申请日： | 2022-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN218502911U | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 陈飞洋;梁新夫;林煜斌;康奇兴;姜泽芳 | 申请（专利权）人： | 长电集成电路（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B25B11/00;H01L21/67;B23K37/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 312000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种擦拭工装，包括本体和垫圈，本体内设有与吸附机构连通的第一通道；垫圈设于本体的上表面，垫圈用于支撑芯片晶圆有源面的边缘处，芯片晶圆的有源面设有焊接部，垫圈适于使焊接部与本体的上表面具有一定距离，垫圈上设有第二通道，吸附机构经第一通道和第二通道吸附芯片晶圆的下表面。本实用新型对应芯片晶圆有源面设置垫圈，使焊接部与本体不接触，使焊接部处于悬置在芯片晶圆和本体之间的空腔中，因此，不存在现有技术中的焊接部与硅胶垫接触的现象，进而避免因擦拭清洁动作导致的焊接部表面沾污的情况。本公开的擦拭工装保证了焊接部表面形貌的完整性，避免后续焊接过程中出现的焊接不良问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 擦拭 工装 | ||
【主权项】：
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