[实用新型]一种插片式真空镀膜工装有效
| 申请号： | 202222288691.2 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN218175096U | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 陈睿;胡磊;王厚林;张斌 | 申请（专利权）人： | 苏州襄行辉光技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 苏州铭恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32463 | 代理人： | 吴月琴 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区黄桥*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种插片式真空镀膜工装，包括托盘架，所述托盘架的左端安装有阴极电极杆，且托盘架的右端上表面设置有固定工件，所述固定工件的外端下侧设置有垫片，所述插片式工装架的左端内侧开设有限位插槽，且限位插槽的内部从左往右分别设置有靶材插片和带孔靶材片，所述插片式工装架的外侧设置有聚能罩；分段支撑架，其设置在插片式工装架的右端下侧，所述分段支撑架的左端设置有固定夹，且固定夹的内部设置有与插片式工装架相连接的调节栓，所述分段支撑架的右端内侧设置有限位支撑杆。该插片式真空镀膜工装，操作简单，增强使用范围，能够进行稳定的连接安装，且提高了该装置的实用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 插片式 真空镀膜 工装 | ||
【主权项】：
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