[实用新型]一种蒸镀治具有效

专利信息
申请号: 202222170298.3 申请日: 2022-08-17
公开(公告)号: CN218372483U 公开(公告)日: 2023-01-24
发明(设计)人: 章焱;林赟;朱帅;董国庆;文国昇;金丛龙 申请(专利权)人: 江西兆驰半导体有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/50
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 何世磊
地址: 330096 江西省南昌市南*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型提供一种蒸镀治具,包括固定盘;三组爪板以环形阵列的形式固设于固定盘上,爪板弯折设置;三组镀锅的中心处通过滚轮连接在爪板的端部,通过弯折设置的爪板,以使连接在爪板端部上相邻的镀锅之间的距离得以调节;多层安装孔以环形阵列的形式设置在镀锅上,每一层安装孔的数量以镀锅的圆心为中心向外递增;载盘固设于安装孔上。本实用新型中的蒸镀治具通过将爪板以预设的角度进行弯折,从而使得连接在爪板一端的镀锅之间的间隙能够增大,进而能够扩大镀锅的面积,而在载盘上以环形阵列的方式设置有多层安装孔,使得镀锅上的安装孔的数量能够有效的增多,从而能够有效的提升镀锅上的载盘数量。
搜索关键词: 一种 蒸镀治具
【主权项】:
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