[实用新型]一种蒸镀治具

说明书

本实用新型提供一种蒸镀治具，包括固定盘；三组爪板以环形阵列的形式固设于固定盘上，爪板弯折设置；三组镀锅的中心处通过滚轮连接在爪板的端部，通过弯折设置的爪板，以使连接在爪板端部上相邻的镀锅之间的距离得以调节；多层安装孔以环形阵列的形式设置在镀锅上，每一层安装孔的数量以镀锅的圆心为中心向外递增；载盘固设于安装孔上。本实用新型中的蒸镀治具通过将爪板以预设的角度进行弯折，从而使得连接在爪板一端的镀锅之间的间隙能够增大，进而能够扩大镀锅的面积，而在载盘上以环形阵列的方式设置有多层安装孔，使得镀锅上的安装孔的数量能够有效的增多，从而能够有效的提升镀锅上的载盘数量。

技术领域

本实用新型涉及加工治具技术领域，特别涉及一种蒸镀治具。

背景技术

随着我国半导体行业的飞速发展，我国于2003年正式实施“国家半导体照明工程”，并在“十五”、“十一五”重点攻关课题和“863”计划中，将MOCVD设备国产化列入重点支持方向。

蒸镀，属于一种物理沉积，是通过某种方式将蒸镀材料升华使其变成气体分子蒸镀材料，气体分子蒸镀材料在真空环境中运动附着在待蒸镀物表面，从而在待蒸镀物表面形成薄膜的过程。

现有技术当中，蒸镀治具采用了小角度的三爪和大尺寸的滚轮，三爪行星式99片镀锅，三爪的弯曲角度为34°，每个镀锅承载33片4寸晶圆的载盘，由于三爪的弯曲角度为34°，使得镀锅之间的间距更为紧密，因此使得镀锅上的载盘数量较少。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的是提供一种蒸镀治具，其目的在于以至少解决现有技术中的不足。

本实用新型提供以下技术方案，一种蒸镀治具，包括：

固定盘；

三组爪板，以环形阵列的形式固设于所述固定盘上，所述爪板弯折设置；

三组镀锅，三组所述镀锅的中心处通过滚轮连接在所述爪板的端部，通过弯折设置的所述爪板，以使连接在所述爪板端部上相邻的所述镀锅之间的距离得以调节；

多层安装孔，以环形阵列的形式设置在所述镀锅上，每一层所述安装孔的数量以所述镀锅的圆心为中心向外递增；

载盘，固设于所述安装孔上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过将爪板以预设的角度进行弯折，从而使得连接在爪板一端的镀锅之间的间隙能够增大，进而能够扩大镀锅的面积，而在载盘上以环形阵列的方式设置有多层安装孔，使得镀锅上的安装孔的数量能够有效的增多，从而能够有效的提升镀锅上的载盘数量。

进一步的，所述爪板与所述固定盘连接的一端上对称设置有第一连接孔，所述爪板与所述镀锅的中心处连接的一端上设置有第二连接孔。

进一步的，三组所述镀锅的中心处设置有环形导轨，所述滚轮设置在所述环形导轨上。

进一步的，所述爪板弯折处的两侧设有第三连接孔，在所述爪板的底部连接有防污板，所述防污板的长度小于所述爪板的长度，所述防污板的宽度大于所述爪板的宽度。

进一步的，所述防污板与所述爪板仿形设置，所述防污板上设有与所述爪板上第三连接孔相对应的第四连接孔。

进一步的，所述载盘顶部呈平边结构，所述平边结构中部设有条形槽，所述条形槽的两侧均设有凸起结构，其中之一所述凸起结构中部设有倒角结构。

进一步的，所述载盘底部设置有T形支架。

进一步的，所述载盘底部两侧设有支脚，所述支脚呈弯折设置。

进一步的，所述载盘表面设置有多个弯折设置的支点。

进一步的，所述镀锅上的最外两层安装孔的间隔处设置有小型载台。

附图说明