[实用新型]一种研磨装置有效
| 申请号： | 202222151008.0 | 申请日： | 2022-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN218364013U | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 贾巴特尔 | 申请（专利权）人： | 杭州千驷科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/34;B24B55/04;B24B55/06;B24B49/00;B24B47/12;B24B55/12 |
| 代理公司： | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人： | 蔡鼎 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体芯片制造技术领域，公开了一种研磨装置，包括底座和支撑板，所述底座的顶部固定连接有机架，所述机架的顶部固定安装有推杆电机。本实用新型通过推杆电机、驱动电机、支撑板、连接杆、限位孔、固定板、拉力传感器、微处理器、保护罩和打磨片的设置，启动推杆电机推动打磨片与半导体芯片表面接触，从而连接杆向上移动拉动拉力传感器，从而拉力传感器的拉力是打磨片与半导体芯片接触的压力，从而能够精准的控制打磨片与半导体芯片接触的合适压力，进一步的能够提高半导体芯片打磨的效果，在打磨的同时，保护罩罩在打磨的半导体芯片的外侧，从而避免灰尘对周围的半导体芯片造成污染损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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