[实用新型]用于改善电镀均匀性的电镀阳极治具有效

专利信息
申请号: 202222139247.4 申请日: 2022-08-15
公开(公告)号: CN217869149U 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 祝国旗;张鹏祥 申请(专利权)人: 淄博芯材集成电路有限责任公司
主分类号: C25D17/00 分类号: C25D17/00;C25D17/10
代理公司: 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 代理人: 宫兆俭
地址: 255035 山东省淄博市高新区青龙*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及一种用于改善电镀均匀性的电镀阳极治具,属于电镀加工治具技术领域。本实用新型包括受镀基板,以及用于给受镀基板电镀的治具,治具包括阳极钛板、信号转换装置和整流器,阳极钛板,包括板体以及设置于板体上的阳极单元,阳极单元按照矩阵排布,且阳极单元分为通电单元和断电单元,每个阳极单元均通过独立导线与信号转换装置相连;信号转换装置,包括控制段与输出端,控制端与整流器相连,输出端与阳极单元相连;整流器,分别与信号转换装置和受镀基板相连;整流器控制信号转换装置驱动部分独立导线为阳极单元供电,阳极单元中的通电单元覆盖电镀范围的受镀基板。其能有效改善电镀均匀性,进而节约电镀成本并改善电镀产品品质。
搜索关键词: 用于 改善 电镀 均匀 阳极
【主权项】:
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