[实用新型]一种高效多工位晶圆测试机有效
| 申请号： | 202222099840.0 | 申请日： | 2022-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN217846050U | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 令龙军;钟国华;周军 | 申请（专利权）人： | 纳美半导体设备（东莞）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95;G01R31/28 |
| 代理公司： | 广东灵顿知识产权代理事务所(普通合伙) 44558 | 代理人： | 赖耀华 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及芯片测试技术领域，具体涉及一种高效多工位晶圆测试机，包括机座；所述机座设有龙门架、上料架、下料架、第一测试模组以及第二测试模组；所述第一测试模组包括第一直线机构、第二直线机构以及第一测试机构；所述第二测试模组包括第三直线机构、第四直线机构以及第二测试机构；所述龙门架设有机械手模组；所述龙门架设有第一CCD机构以及第二CCD机构。本实用新型通过设置两个测试模组，每个测试模组上设有两个直线机构，并且每个直线机构上均设有校正座，配合第一CCD机构以及第二CCD机构，每个能够对校正座上的晶圆进行独立校正，只需要通过机械手模组将晶圆依次放入四个校正座上，即可以完成多个晶圆的校正，大大地提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 多工位晶圆 测试 | ||
【主权项】：
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