[实用新型]一种高效多工位晶圆测试机

权利要求书

1.一种高效多工位晶圆测试机，其特征在于：包括机座(1)；所述机座(1)设有龙门架(11)、上料架(12)、下料架(13)、第一测试模组以及第二测试模组；

所述第一测试模组包括第一直线机构(21)、第二直线机构(22)以及第一测试机构(91)；所述第二测试模组包括第三直线机构(23)、第四直线机构(24)以及第二测试机构(92)；所述第一直线机构(21)、第二直线机构(22)、第三直线机构(23)以及第四直线机构(24)分别设有第一校正座(31)、第二校正座(32)、第三校正座(33)以及第四校正座(34)；

所述龙门架(11)设有机械手模组；所述机械手模组用于在上料架(12)、第一校正座(31)、第二校正座(32)、第三校正座(33)、第四校正座(34)以及下料架(13)之间移动；

所述龙门架(11)设有第一CCD机构(41)以及第二CCD机构(42)；所述第一CCD机构(41)用于在第一校正座(31)与第二校正座(32)之间移动；所述第二CCD机构(42)用于在第三校正座(33)与第四校正座(34)之间移动。

2.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机，其特征在于：所述机械手模组包括设于龙门架(11)的第一横向移动组件(51)、设于第一横向移动组件(51)的第一升降移动组件(52)以及设于第一升降移动组件(52)的吸附座(53)；所述第一横向移动组件(51)用于驱动吸附座(53)横向移动；所述第一升降移动组件(52)用于驱动吸附座(53)升降；所述吸附座(53)设有若干个真空吸嘴(54)；

所述第一直线机构(21)、第二直线机构(22)、第三直线机构(23)以及第四直线机构(24)分别用于驱动第一校正座(31)、第二校正座(32)、第三校正座(33)以及第四校正座(34)纵向移动。

3.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机，其特征在于：所述龙门架(11)设有用于驱动第一CCD机构(41)横向移动的第二横向移动组件(43)以及用于驱动第二CCD机构(42)横向移动的第三横向移动组件(44)；

所述第一直线机构(21)、第二直线机构(22)、第三直线机构(23)以及第四直线机构(24)分别用于驱动第一校正座(31)、第二校正座(32)、第三校正座(33)以及第四校正座(34)纵向移动。

4.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机，其特征在于：所述第一校正座(31)、第二校正座(32)、第三校正座(33)以及第四校正座(34)均包括底座(61)、转动设于底座(61)的载物盘(63)以及用于驱动载物盘(63)转动的电机(62)。

5.根据权利要求4所述的一种高效多工位晶圆测试机，其特征在于：所述第一测试机构(91)以及第二测试机构(92)均包括设于控制箱(71)、探针座(72)、用于驱动探针座(72)横向移动的第四横向移动组件(73)以及用于驱动探针座(72)升降的第二升降移动组件(74)；

所述探针座(72)设有与控制箱(71)电性连接的正极探针(75)；所述底座(61)设有与载物盘(63)连接的负极线。

6.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机，其特征在于：所述龙门架(11)设有第一打点机构(81)以及第二打点机构(82)；所述第一打点机构(81)用于在第一校正座(31)与第二校正座(32)之间移动；所述第二打点机构(82)用于在第三校正座(33)与第四校正座(34)之间移动。

7.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机，其特征在于：所述机座(1)设有加热盘(14)；所述机械手模组用于在上料架(12)、第一校正座(31)、第二校正座(32)、第三校正座(33)、第四校正座(34)、加热盘(14)以及下料架(13)之间移动。

8.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机，其特征在于：所述机座(1)设有待确认盒(15)；所述机械手模组用于在上料架(12)、第一校正座(31)、第二校正座(32)、第三校正座(33)、第四校正座(34)、待确认盒(15)以及下料架(13)之间移动。