[实用新型]一种硅片表面处理装置有效
| 申请号： | 202222098861.0 | 申请日： | 2022-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN218363748U | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 耿伟;顾少俊;张西东;周航 | 申请（专利权）人： | 鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/20;B24B47/12 |
| 代理公司： | 南通亿旸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32578 | 代理人： | 丁松鹏 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片表面处理装置，包括底座，所述底座的侧边设有电动升降杆，所述底座上设有转盘，所述转盘的底部与底座内的旋转电机相连接，所述转盘上设有多个夹持机构，本实用新型结构简单，设计新颖，特设的夹持机构不仅可对硅片进行定位，保证硅片在抛光过程中，不会随意移动，大大降低了硅片边缘被擦伤的风险，而且只需要通过调整夹持机构的松紧，即可轻松的将硅片取出，方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 表面 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司，未经鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222098861.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型蓄电池测试分析仪
- 下一篇：一种单晶炉的炉盖提升装置
