[实用新型]一种硅片表面处理装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片表面处理装置，包括底座，所述底座的侧边设有电动升降杆，所述底座上设有转盘，所述转盘的底部与底座内的旋转电机相连接，所述转盘上设有多个夹持机构，本实用新型结构简单，设计新颖，特设的夹持机构不仅可对硅片进行定位，保证硅片在抛光过程中，不会随意移动，大大降低了硅片边缘被擦伤的风险，而且只需要通过调整夹持机构的松紧，即可轻松的将硅片取出，方便快捷。

技术领域

本实用新型涉及硅片处理技术领域，具体为一种硅片表面处理装置。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是制作成单晶硅片用作半导体材料，单晶硅片在生产过程中，通常需要对其表面进行抛光处理，以保证其具有较高的光滑度。

市场上的常见的单晶硅片表面处理装置，多是开设固定槽来直接放置硅片，硅片放入后与槽体之间任然有点间隙，在抛光过程中随着抛光设备的转动，硅片的边缘容易被槽壁擦伤，另外抛光结束后，员工多是用手直接从槽中取出硅片，由于硅片较薄，取出较为麻烦，稍有不慎容易造成碎片的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片表面处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片表面处理装置，包括底座，所述底座的侧边设有电动升降杆，所述底座上设有转盘，所述转盘的底部与底座内的旋转电机相连接，所述转盘上设有多个夹持机构，所述夹持机构包括呈十字状设计的滑轨，连动盘和放置盘，所述滑轨固定于转盘上，所述滑轨的中间设有一根连接轴，所述滑轨的每个轨道内均设有L形的滑块，所述滑块的底端设有连杆，所述滑块的顶端设有弧形夹板，所述滑轨的其中一个轨道旁设有卡扣。

优选的，所述连动盘的中间设有滚动轴承，所述连动盘的边缘设有卡环，所述连动盘的表面设有四条弧形的长腰孔，所述滚动轴承套接于连接轴上，所述长腰孔套接于对应的连杆上，所述卡环与卡扣相匹配。

优选的，所述放置盘固定于连接轴的顶部，所述放置盘上设有一层橡胶垫，所述放置盘与弧形夹板位于同一水平线上。

优选的，所述弧形夹板上同样设有一层橡胶垫。

优选的，所述电动升降杆的顶部设有横梁，所述横梁上设有第二旋转电机，所述第二旋转电机的输出端连接着抛光盘。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，特设的夹持机构不仅可对硅片进行定位，保证硅片在抛光过程中，不会随意移动，大大降低了硅片边缘被擦伤的风险，而且只需要通过调整夹持机构的松紧，即可轻松的将硅片取出，方便快捷。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型转盘的结构示意图；

图3为本实用新型滑轨的结构示意图；

图4为本实用新型连动盘的结构示意图；

图5为本实用新型滑轨和连动盘的连接结构示意图；

图6为本实用新型夹持机构的侧面结构剖视示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。