[实用新型]基板载具

摘要

一种基板载具，包含主体及定位单元。该主体具有本体部、自该本体部延伸的连接部，及彼此相间隔地自该本体部延伸的两个承载臂。该定位单元包括两个第一承靠面、两个第二承靠面及真空吸盘。所述第一承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供圆形基板的边缘抵靠。所述第二承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供方形基板的一侧边抵靠。该真空吸盘设于该本体部，用以吸附该圆形基板或该方形基板。通过所述第一承靠面及所述第二承靠面与该真空吸盘相配合，能够在需要承载该圆形基板或需要承载该方形基板时皆可使用，以使该基板载具能满足在有圆形基板及方形基板共用的制程中的使用需求。