[实用新型]预防晶棒坠落的保护装置及拉晶炉有效
申请号: | 202222038491.1 | 申请日: | 2022-08-03 |
公开(公告)号: | CN218203160U | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 宋涛;汪佳;王建军;王晓明 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种预防晶棒坠落的保护装置及拉晶炉,预防晶棒坠落的保护装置包括:抱箍组件,抱箍组件包括上环形抱箍组件和下环形抱箍组件,上环形抱箍组件和下环形抱箍组件抱紧固定在拉晶炉副炉室的下端;自动伸缩组件,自动伸缩组件组件有两个,两个自动伸缩组件对称位于副炉室的两侧,两个自动伸缩组件的一端与下环形抱箍组件连接,其另一端分别与托板组件的两个连接臂上端连接,自动伸缩组件用于驱动托板组件在防护状态和避让状态之间切换;托板组件,用于支撑晶棒的锥体部,托板组件包括托板和两个连接臂,托板上表面的两端分别与两个连接臂的底部固定连接,托板的中部开设有容纳晶棒锥体部的通孔,托板组件具有防护状态和避让状态。 | ||
搜索关键词: | 预防 坠落 保护装置 拉晶炉 | ||
【主权项】:
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