[实用新型]预防晶棒坠落的保护装置及拉晶炉有效
申请号: | 202222038491.1 | 申请日: | 2022-08-03 |
公开(公告)号: | CN218203160U | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 宋涛;汪佳;王建军;王晓明 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 预防 坠落 保护装置 拉晶炉 | ||
1.一种预防晶棒坠落的保护装置,其特征在于,包括:
抱箍组件,所述抱箍组件包括上环形抱箍组件和下环形抱箍组件,所述上环形抱箍组件和下环形抱箍组件抱紧固定在拉晶炉副炉室的下端;
自动伸缩组件,所述自动伸缩组件组件有两个,两个所述自动伸缩组件对称位于副炉室的两侧,两个所述自动伸缩组件的一端与所述下环形抱箍组件连接,其另一端分别与托板组件的两个连接臂上端连接,所述自动伸缩组件用于驱动托板组件在防护状态和避让状态之间切换;
托板组件,用于支撑晶棒的锥体部,所述托板组件包括托板和两个连接臂,所述托板上表面的两端分别与两个所述连接臂的底部固定连接,所述托板的中部开设有容纳所述晶棒的锥体部的通孔,所述托板组件具有防护状态和避让状态,防护状态时,所述托板位于所述副炉室正下方,所述晶棒的锥体部支撑于所述托板的通孔上;避让状态时,所述托板位于所述副炉室一侧。
2.根据权利要求1所述的预防晶棒坠落的保护装置,其特征在于,所述自动伸缩组件包括气缸,所述上环形抱箍组件的一侧固定支架,所述支架固定连接有气缸座固定轴,所述支架的两侧通过所述气缸座固定轴对称转动连接所述气缸。
3.根据权利要求1所述的预防晶棒坠落的保护装置,其特征在于,所述下环形抱箍组件包括两个对称设置的半环抱箍,两个所述半环抱箍的中部对称固定连接两个旋转轴,所述下环形抱箍组件通过两个所述旋转轴分别与两个所述连接臂转动连接。
4.根据权利要求1所述的预防晶棒坠落的保护装置,其特征在于,所述托板在通孔的上方安装有缓冲垫,所述缓冲垫的中心开设容许晶棒的锥体部通过的圆孔。
5.根据权利要求4所述的预防晶棒坠落的保护装置,其特征在于,所述缓冲垫沿所述圆孔向下延伸形成防护管,所述防护管的外径与所述通孔孔径相适应,所述防护管插入至所述通孔中;
所述圆孔的孔径从上到下逐渐减小。
6.根据权利要求5所述的预防晶棒坠落的保护装置,其特征在于,所述缓冲垫的下方圆均匀周固定多个缓冲件,所述缓冲件的上端固定在所述缓冲垫的下表面,所述缓冲件底部固定在所述托板上。
7.根据权利要求6所述的预防晶棒坠落的保护装置,其特征在于,所述缓冲件为橡胶块,所述橡胶块与台阶螺丝间隙配合,所述台阶螺丝穿过所述托板、所述橡胶块与所述缓冲垫螺纹连接;或者,
所述缓冲件为压缩弹簧,所述压缩弹簧的中心设有台阶螺丝,所述台阶螺丝穿过所述托板、所述压缩弹簧与所述缓冲垫螺纹连接。
8.根据权利要求2所述的预防晶棒坠落的保护装置,其特征在于,所述气缸座固定轴的两端端部安装有防脱挡圈。
9.根据权利要求1所述的预防晶棒坠落的保护装置,其特征在于,所述连接臂从上到下宽度逐渐增大,所述连接臂沿中心轴线从上到下间隔开设有多个安装孔,多个所述安装孔从上到下孔径逐渐增大。
10.一种拉晶炉,其特征在于,包括副炉室和权利要求1-9任一项所述的预防晶棒坠落的保护装置,所述副炉室的下端安装有所述预防晶棒坠落的保护装置。
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