[实用新型]预防晶棒坠落的保护装置及拉晶炉

说明书

本实用新型公开了一种预防晶棒坠落的保护装置及拉晶炉，预防晶棒坠落的保护装置包括：抱箍组件，抱箍组件包括上环形抱箍组件和下环形抱箍组件，上环形抱箍组件和下环形抱箍组件抱紧固定在拉晶炉副炉室的下端；自动伸缩组件，自动伸缩组件组件有两个，两个自动伸缩组件对称位于副炉室的两侧，两个自动伸缩组件的一端与下环形抱箍组件连接，其另一端分别与托板组件的两个连接臂上端连接，自动伸缩组件用于驱动托板组件在防护状态和避让状态之间切换；托板组件，用于支撑晶棒的锥体部，托板组件包括托板和两个连接臂，托板上表面的两端分别与两个连接臂的底部固定连接，托板的中部开设有容纳晶棒锥体部的通孔，托板组件具有防护状态和避让状态。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长技术领域，尤其是涉及一种预防晶棒坠落的保护装置及拉晶炉。

背景技术

晶棒生长完成后会移动到拉晶炉副炉室内冷却一段时间后取出。当晶棒随着副炉室旋转时会在惯性作用下容易与副炉室壁发生碰撞，由于籽晶引晶拉制的细颈在受到侧向力或震动作用下极易断裂，同时晶棒是质量较大的实心圆柱体，特别是当晶棒达到较大的长度以及大直径时，晶棒重量可达到几百公斤以上，因此晶棒从副炉室内坠落下来会对设备等造成巨大破坏，同时给人身安全带来重大危害。

现有的晶棒坠落防护装置，存在以下问题：

一、在晶棒坠落时才能起到防护作用，由于晶棒较重，坠落时，晶棒与防护装置快速接触，易产生碰撞，损伤晶棒；

二、需要变更副炉室原设计，如在副炉室上开槽等，会对副炉室产生一定程度的损伤；

三、同时，一般需要人工操作来实现防护装置的防护状态和避让状态的切换，自动化程度低，且操作过程中晶棒坠落给人身带来安全隐患。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种预防晶棒坠落的保护装置及拉晶炉。

根据本实用新型第一方面的预防晶棒坠落的保护装置，所述预防晶棒坠落的保护装置，包括：

抱箍组件，所述抱箍组件包括上环形抱箍组件和下环形抱箍组件，所述上环形抱箍组件和下环形抱箍组件抱紧固定在拉晶炉副炉室的下端；

自动伸缩组件，所述自动伸缩组件组件有两个，两个所述自动伸缩组件对称位于副炉室的两侧，两个所述自动伸缩组件的一端与所述下环形抱箍组件连接，其另一端分别与托板组件的两个连接臂上端转动连接，所述自动伸缩组件用于驱动托板组件在防护状态和避让状态之间切换。

托板组件，用于支撑晶棒的锥体部，所述托板组件包括托板和两个连接臂，所述托板上表面的两端分别与连接臂的底部固定连接，所述托板的中部开设有容纳晶棒锥体部的通孔，所述托板组件具有防护状态和避让状态，防护状态时，所述托板位于所述副炉室正下方，所述晶棒的锥体部支撑于所述托板的通孔上；避让状态时，所述托板位于所述副炉室一侧。

在本实用新型的一些实施例中，所述自动伸缩组件包括气缸，所述上环形抱箍组件的一侧固定支架，所述支架固定连接有气缸座固定轴，所述支架的两侧通过所述气缸座固定轴对称转动连接所述气缸。

在本实用新型的一些实施例中，所述下环形抱箍组件包括两个对称设置的半环抱箍，两个所述半环抱箍的中部对称固定连接两个旋转轴，所述下环形抱箍组件通过两个旋转轴分别与两个连接臂转动连接。

在本实用新型的一些实施例中，所述托板在通孔的上方安装有缓冲垫，所述缓冲垫的中心开设容许晶棒锥体部通过的圆孔，所述圆孔的孔径与通孔孔径相等。

在本实用新型的一些实施例中，所述缓冲垫沿所述圆孔向下延伸形成防护管，所述防护管的外径与所述通孔孔径相适应，所述防护管插入至所述通孔中；

所述圆孔的孔径从上到下逐渐减小。