[实用新型]抛光垫修整组件和抛光设备有效
| 申请号： | 202222023340.9 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN217943022U | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 林宏超;周志豪;王海呈;黄建烽;邓彬彬 | 申请（专利权）人： | 福建晶安光电有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/02 | 分类号： | B24B53/02;B24B53/12;B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京金咨知识产权代理有限公司 11612 | 代理人： | 岳燕敏 |
| 地址： | 362411 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种抛光垫修整组件和抛光设备，所述修整组件包括底座、多个清扫头以及多个修整头，所述多个清扫头均设置在所述底座上，所述清扫头用于清扫抛光垫；所述多个修整头均设置在所述底座上，所述修整头用于修整所述抛光垫；其中，多个所述清扫头和多个所述修整头沿所述底座的周向间隔设置，且所述修整头与所述清扫头交错设置。该抛光垫修整组件降低了抛光垫的修整和清扫工艺所需要的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 修整 组件 设备 | ||
【主权项】：
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