[实用新型]一种特气源液蒸汽补给系统有效
| 申请号： | 202221948426.6 | 申请日： | 2022-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN217819177U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 郭路斌;林佳继;刘群 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/08 | 分类号： | G01L19/08;G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518122 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种特气源液蒸汽补给系统，该特气源液蒸汽补给系统包括保护气源、加热箱体和检测装置，加热箱体用于容纳且加热特气源液瓶，特气源液瓶的进口与保护气源相连，出口与特气使用设备相连，检测装置包括压力检测器和气体浓度检测器，压力检测器和气体浓度检测器设在特气源液瓶的出口与特气使用设备之间。该特气源液蒸汽补给系统的压力检测器能够检测特气源液蒸汽的供给压力，气体浓度检测器能够检测特气源液蒸汽的浓度，由此可以根据压力检测器和气体浓度检测器的测试结果，调整加热箱体的温度以及保护气源的输出压力，确保特气源液蒸汽的供给压力和挥发量处于较为稳定的状态，从而有利于提升设备的制造良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 特气源液 蒸汽 补给 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，未经深圳市拉普拉斯能源技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202221948426.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：超增透膜保护镜
- 下一篇：一种用于火炬燃烧系统零部件气动性能检测的设备
