[实用新型]一种特气源液蒸汽补给系统

说明书

本实用新型公开了一种特气源液蒸汽补给系统，该特气源液蒸汽补给系统包括保护气源、加热箱体和检测装置，加热箱体用于容纳且加热特气源液瓶，特气源液瓶的进口与保护气源相连，出口与特气使用设备相连，检测装置包括压力检测器和气体浓度检测器，压力检测器和气体浓度检测器设在特气源液瓶的出口与特气使用设备之间。该特气源液蒸汽补给系统的压力检测器能够检测特气源液蒸汽的供给压力，气体浓度检测器能够检测特气源液蒸汽的浓度，由此可以根据压力检测器和气体浓度检测器的测试结果，调整加热箱体的温度以及保护气源的输出压力，确保特气源液蒸汽的供给压力和挥发量处于较为稳定的状态，从而有利于提升设备的制造良率。

技术领域

本实用新型涉及特种气体供给设备技术领域，尤其涉及一种特气源液蒸汽补给系统。

背景技术

特种气体广泛应用于半导体、微电子、液晶面板、太阳能电池等高科技行业。行业使用的薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗等工艺设备均广泛利用特气作为工艺原料来生产产品，使得特种气体的需求高增。对特种气体的需求极大导致特种气体占据整个产品生产成本的45％以上。如何合理高效的使用特种气体，成为各类工艺设备首要解决的问题。如何保障工艺设备特气补给的均匀性，提高特气利用率，使单位体积的特种气体产出更多的合格产品成为关键。解决这些问题的根本在于特种气体补给系统的合理设计。特种气体包括两种，一种是温度高于临界温度的气态物质，另一种是温度低于临界温度的汽态物质，现有特气补给系统功能简单，存在特气供给压力不均匀，特气源液挥发量难以把控的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种特气源液蒸汽补给系统，该特气源液蒸汽补给系统能够及时调整特气源液蒸汽的供给压力和特气源液挥发量，确保特气源液蒸汽的供给压力和挥发量处于较为稳定的状态，实现工艺气体的稳定精准补给控制，从而有利于提升设备的制造良率。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种特气源液蒸汽补给系统，包括保护气源；加热箱体，所述加热箱体用于容纳且加热特气源液瓶，所述特气源液瓶用于承载特气源液，所述特气源液瓶的进口与所述保护气源相连，出口与特气使用设备相连；检测装置，所述检测装置包括压力检测器和气体浓度检测器，所述压力检测器和所述气体浓度检测器设在所述特气源液瓶的出口与所述特气使用设备之间。

在一些实施例中，所述保护气源与所述特气源液瓶之间还设有调压阀，所述调压阀用于调整输向所述特气源液瓶的保护气的压力。

在一些具体的实施例中，所述调压阀与所述特气源液瓶之间还设有纯化器，所述纯化器用于对输向所述特气源液瓶的保护气过滤提纯。

在一些更具体的实施例中，所述纯化器和所述特气源液瓶之间设有用于检测气体流量的第一流量计。

在一些实施例中，所述检测装置和所述特气使用设备之间设有第二流量计和第一控制阀。

在一些具体的实施例中，所述特气源液蒸汽补给系统还包括与所述第二流量计并列设置的超量特气补给管路，所述超量特气补给管路的两端分别与所述特气使用设备及所述检测装置相连，且所述超量特气补给管路上设有第二控制阀。

在一些实施例中，所述特气源液蒸汽补给系统还包括废气处理装置和吹扫管路，所述吹扫管路的一端与所述废气处理装置相连，另一端与所述保护气源相连。

在一些实施例中，所述特气源液蒸汽补给系统还包括保护气供气管路，所述保护气供气管路的一端与所述保护气源相连，另一端与所述特气使用设备相连。

在一些具体的实施例中，所述保护气供气管路上设有第三流量计和第三控制阀。

在一些具体的实施例中，所述加热箱体内设有用于检测所述特气源液瓶重量的称重装置。