[实用新型]一种特气源液蒸汽补给系统

权利要求书

1.一种特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，包括

保护气源(1)；

加热箱体(2)，所述加热箱体(2)用于容纳且加热特气源液瓶(3)，所述特气源液瓶(3)用于承载特气源液，所述特气源液瓶(3)的进口与所述保护气源(1)相连，出口与特气使用设备(25)相连；

检测装置，所述检测装置包括压力检测器(4)和气体浓度检测器(5)，所述压力检测器(4)和所述气体浓度检测器(5)设在所述特气源液瓶(3)的出口与所述特气使用设备(25)之间。

2.根据权利要求1所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述保护气源(1)与所述特气源液瓶(3)之间还设有调压阀(6)，所述调压阀(6)用于调整输向所述特气源液瓶(3)的保护气的压力。

3.根据权利要求2所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述调压阀(6)与所述特气源液瓶(3)之间还设有纯化器(7)，所述纯化器(7)用于对输向所述特气源液瓶(3)的保护气过滤提纯。

4.根据权利要求3所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述纯化器(7)和所述特气源液瓶(3)之间设有用于检测气体流量的第一流量计(8)。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述检测装置和所述特气使用设备(25)之间设有第二流量计(9)和第一控制阀(10)。

6.根据权利要求5所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述特气源液蒸汽补给系统还包括与所述第二流量计(9)并列设置的超量特气补给管路(11)，所述超量特气补给管路(11)的两端分别与所述特气使用设备(25)及所述检测装置相连，且所述超量特气补给管路(11)上设有第二控制阀(12)。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述特气源液蒸汽补给系统还包括废气处理装置(16)和吹扫管路，所述吹扫管路的一端与所述废气处理装置(16)相连，另一端与所述保护气源(1)相连。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述特气源液蒸汽补给系统还包括保护气供气管路(13)，所述保护气供气管路(13)的一端与所述保护气源(1)相连，另一端与所述特气使用设备(25)相连。

9.根据权利要求8所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述保护气供气管路(13)上设有第三流量计(14)和第三控制阀(15)。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的特气源液蒸汽补给系统，其特征在于，所述加热箱体(2)内设有用于检测所述特气源液瓶(3)重量的称重装置。