[实用新型]一种聚焦离子束样品清洁装置有效
| 申请号： | 202221929471.7 | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN217700464U | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 高寒松;高小寒;王硕 | 申请（专利权）人： | 会一科技（长春）有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人： | 来庆英 |
| 地址： | 130000 吉林省长春市北湖科技开发区*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种聚焦离子束样品清洁装置，包括操作台，操作台的顶部焊接有立板，立板的一侧焊接有横板，横板的底部开设有第一滑槽，第一滑槽的内部贯穿有第一螺杆，第一螺杆的一端与电机的输出端焊接，第一螺杆螺纹连接有第一滑块，第一滑块的底部焊接有连接柱，连接柱的底部与等离子枪连接，等离子枪的下方设置有样品台，样品台的两侧安装有夹紧机构，本实用新型通过安装的夹紧机构，可以对样品进行夹紧固定，通过电机可以带动第一螺杆转动，第一螺杆可以带动第一滑块、连接柱和等离子枪移动到指定位置，通过等离子枪可以对样品进行离子轰击刻蚀去除污染物，进而可以大大提高清洁效率，快速完成清洁任务。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚焦 离子束 样品 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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