[实用新型]一种聚焦离子束样品清洁装置

权利要求书

1.一种聚焦离子束样品清洁装置，包括操作台(1)，其特征在于：所述操作台(1)的顶部焊接有立板(3)，所述立板(3)的一侧焊接有横板(4)，所述横板(4)的底部开设有第一滑槽(5)，所述第一滑槽(5)的内部贯穿有第一螺杆(6)，所述第一螺杆(6)的一端通过第一轴承(7)与所述第一滑槽(5)的侧壁连接，所述第一螺杆(6)的另一端贯穿通过所述第一滑槽(5)的侧壁，且延伸至所述立板(3)的外部与电机(8)的输出端焊接，所述电机(8)安装在所述立板(3)的一侧，所述第一螺杆(6)螺纹连接有第一滑块(9)，所述第一滑块(9)的底部焊接有连接柱(10)，所述连接柱(10)的底部与等离子枪(11)连接，所述等离子枪(11)的下方设置有样品台(23)，所述样品台(23)的两侧安装有夹紧机构。

2.根据权利要求1所述的一种聚焦离子束样品清洁装置，其特征在于：所述夹紧机构包括第二滑槽(12)、第二螺杆(13)、第二轴承(14)、摇把(15)、第二滑块(16)、支架(17)和夹块(18)，所述操作台(1)的顶部开设有所述第二滑槽(12)，所述第二滑槽(12)的内部贯穿有所述第二螺杆(13)，所述第二螺杆(13)的一端通过所述第二轴承(14)与所述第二滑槽(12)的侧壁连接，所述第二螺杆(13)的另一端贯穿通过所述第二滑槽(12)的侧壁，且与所述摇把(15)的一端焊接，所述摇把(15)安装在所述操作台(1)的一侧，所述第二螺杆(13)螺纹连接有两组所述第二滑块(16)，两组所述第二滑块(16)的顶部均焊接有两组所述支架(17)，多组所述支架(17)的另一端均与所述夹块(18)的一侧焊接。

3.根据权利要求2所述的一种聚焦离子束样品清洁装置，其特征在于：所述第二滑槽(12)的两侧设置有多组支撑柱(20)，多组支撑柱(20)的底部均与所述操作台(1)的顶部焊接，多组所述支撑柱(20)的另一端均与托盘(21)的底部焊接，所述托盘(21)的内部安装有第二电机(22)，所述第二电机(22)的输出端贯穿通过所述托盘(21)的顶部，且与所述样品台(23)的底部焊接。

4.根据权利要求2所述的一种聚焦离子束样品清洁装置，其特征在于：两组所述第二滑块(16)的螺纹相反。

5.根据权利要求2所述的一种聚焦离子束样品清洁装置，其特征在于：两组所述夹块(18)的一侧均粘接有橡胶垫(19)。

6.根据权利要求1所述的一种聚焦离子束样品清洁装置，其特征在于：所述操作台(1)的底部安装有底座(2)，所述底座(2)设置有四组。