[实用新型]清洗装置有效
| 申请号： | 202221911522.3 | 申请日： | 2022-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN217990189U | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 刘盛;巫礼杰;童灿钊;李迁;刘航;赵冬冬;刘佳鑫;文洪;仰瑞;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请适用于半导体技术领域，提供一种清洗装置，该清洗装置包括摆臂组件、喷头组件和第一固定件，摆臂组件上设置有弧形孔或固定孔，喷头组件上设置有与摆臂组件上的弧形孔或固定孔对应的固定孔或弧形孔；第一固定件包括杆部和头部，杆部穿设于弧形孔和固定孔，头部抵接于弧形孔的端壁，以将摆臂组件与喷头组件连接；其中，杆部可在弧形孔内滑动，摆臂组件用于带动喷头组件运动。本申请实施例的杆部在弧形孔内滑动时，可带动摆臂组件和喷头组件以弧形孔的中心线为转动中心进行转动，使得摆臂组件与喷头组件之间的角度可以调整，使得喷头组件的朝向与待清洗件表面之间的角度达到最佳角度，从而提高对待清洗件的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市大族半导体装备科技有限公司，未经深圳市大族半导体装备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202221911522.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种钢化玻璃的双边磨边设备
- 下一篇：转子铜线点焊装置
