[实用新型]一种3维超高真空样品台有效
| 申请号： | 202221899171.9 | 申请日： | 2022-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN218330877U | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 汤忠喜;刘杰 | 申请（专利权）人： | 探普（南京）工业科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/36 | 分类号： | G01N1/36;G01N33/00 |
| 代理公司： | 深圳博敖专利代理事务所(普通合伙) 44884 | 代理人： | 姚宗培 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及超高真空技术领域，且公开了一种3维超高真空样品台，包括机箱，所述机箱一侧开口设置，所述机箱的内壁上固定连接有安装板，所述安装板靠近机箱开口的一侧固定安装有直线电机，所述安装板的另一侧固定安装有蓄电池，所述蓄电池与直线电机电性连接，所述直线电机的输出端上固定连接有活动板。本实用新型通过设置蓄电池，可以为直线电机提供稳定的电能，维持直线电机的工作，无需通过导线连接在外部电路中，不会破坏超真空环境，解决了现有的三维超高真空样品台在使用时需要将驱动设备通过导线连接在外部电路中，而牵设导线往往容易导致空气进入，影响工作区的超高真空环境的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 样品 | ||
【主权项】：
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