[实用新型]一种3维超高真空样品台

说明书

本实用新型涉及超高真空技术领域，且公开了一种3维超高真空样品台，包括机箱，所述机箱一侧开口设置，所述机箱的内壁上固定连接有安装板，所述安装板靠近机箱开口的一侧固定安装有直线电机，所述安装板的另一侧固定安装有蓄电池，所述蓄电池与直线电机电性连接，所述直线电机的输出端上固定连接有活动板。本实用新型通过设置蓄电池，可以为直线电机提供稳定的电能，维持直线电机的工作，无需通过导线连接在外部电路中，不会破坏超真空环境，解决了现有的三维超高真空样品台在使用时需要将驱动设备通过导线连接在外部电路中，而牵设导线往往容易导致空气进入，影响工作区的超高真空环境的问题。

技术领域

本实用新型涉及超高真空技术领域，具体为一种3维超高真空样品台。

背景技术

样品台是属于超高真空，表面科学，航天航空研究，半导体等领域用以同步辐射，自由电子激光，微聚焦深紫外激光，技术发展，微区样品测试需要的装置；现有的三维超高真空样品台在使用时需要将驱动设备通过导线连接在外部电路中，而牵设导线往往容易导致空气进入，影响工作区的超高真空环境。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了一种3维超高真空样品台，达到解决上述问题的目的。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种3维超高真空样品台，包括机箱，所述机箱一侧开口设置，所述机箱的内壁上固定连接有安装板，所述安装板靠近机箱开口的一侧固定安装有直线电机，所述安装板的另一侧固定安装有蓄电池，所述蓄电池与直线电机电性连接，所述直线电机的输出端上固定连接有活动板，所述机箱的底部靠近开口一侧固定安装有XY位移台，所述XY位移台的顶面上固定安装有伸缩波纹管，所述伸缩波纹管的另一端固定安装在活动板的底面上，所述XY位移台的底面上固定连接有接口，所述接口远离XY位移台的一端固定连接有法兰。

在本实用新型实施例中，所述直线电机的高度为605.5。

在本实用新型实施例中，所述机箱以远离开口一侧外壁上固定安装有充电口，所述充电口与蓄电池电性连接，通过设置充电口，可以在装置不使用时通过外部电路为蓄电池充电，为下一次使用做准备，提升装置的使用寿命，增强装置实用性。

在本实用新型实施例中，所述XY位移台的X轴和Y轴的活动范围均为-12.5～12.5。

在本实用新型实施例中，所述伸缩波纹管的最大长度为20。

在本实用新型实施例中，所述XY位移台和接口的高度之和为211.35。

本实用新型提供了一种3维超高真空样品台。具备以下有益效果：

(1)、本实用新型通过设置蓄电池，可以为直线电机提供稳定的电能，维持直线电机的工作，无需通过导线连接在外部电路中，不会破坏超真空环境，解决了现有的三维超高真空样品台在使用时需要将驱动设备通过导线连接在外部电路中，而牵设导线往往容易导致空气进入，影响工作区的超高真空环境的问题。

(2)、本实用新型通过设置充电口，可以在装置不使用时通过外部电路为蓄电池充电，为下一次使用做准备，提升装置的使用寿命，增强装置实用性。

附图说明

图1为本实用新型提供的主视图；

图2为本实用新型提供的侧视图；

图3为本实用新型提供的侧面剖视图。

图中：1、机箱；2、安装板；3、直线电机；4、蓄电池；5、充电口；6、活动板；7、XY位移台；8、伸缩波纹管；9、接口；10、法兰。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。