[实用新型]一种3维超高真空样品台

权利要求书

1.一种3维超高真空样品台，其特征在于：包括机箱(1)，所述机箱(1)一侧开口设置，所述机箱(1)的内壁上固定连接有安装板(2)，所述安装板(2)靠近机箱(1)开口的一侧固定安装有直线电机(3)，所述安装板(2)的另一侧固定安装有蓄电池(4)，所述蓄电池(4)与直线电机(3)电性连接，所述直线电机(3)的输出端上固定连接有活动板(6)，所述机箱(1)的底部靠近开口一侧固定安装有XY位移台(7)，所述XY位移台(7)的顶面上固定安装有伸缩波纹管(8)，所述伸缩波纹管(8)的另一端固定安装在活动板(6)的底面上，所述XY位移台(7)的底面上固定连接有接口(9)，所述接口(9)远离XY位移台(7)的一端固定连接有法兰(10)。

2.根据权利要求1所述的一种3维超高真空样品台，其特征在于：所述直线电机(3)的高度为605.5。

3.根据权利要求1所述的一种3维超高真空样品台，其特征在于：所述机箱(1)以远离开口一侧外壁上固定安装有充电口(5)，所述充电口(5)与蓄电池(4)电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种3维超高真空样品台，其特征在于：所述XY位移台(7)的X轴和Y轴的活动范围均为-12.5～12.5。

5.根据权利要求1所述的一种3维超高真空样品台，其特征在于：所述伸缩波纹管(8)的最大长度为20。

6.根据权利要求1所述的一种3维超高真空样品台，其特征在于：所述XY位移台(7)和接口(9)的高度之和为211.35。