[实用新型]一种防止超薄片晶圆漂浮的二次非全覆盖式涂胶装置有效
| 申请号： | 202221839630.4 | 申请日： | 2022-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN217747881U | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 杨珮艺;周春荣;刘勇;焦伟宏 | 申请（专利权）人： | 上海纪元微科电子有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201207 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种防止超薄片晶圆漂浮的二次非全覆盖式涂胶装置，包括立架，所述立架内部下端安装有伺服电动缸，所述伺服电动缸输出端安装有支撑盘，所述立架上端安装有电机，所述电机输出端连接有转盘，所述转盘转动安装在立架内部顶端，所述转盘下端安装有夹板，所述夹板内部下端安装有存液箱，所述存液箱下端设有一排若干个排液管口，且所述排液管口大小从存液箱下端中心向存液箱下端侧边逐渐变大，所述存液箱两侧壁下端皆连接有抚平板。本实用新型可以使得胶层均匀性更佳，提高胶层均匀性，避免晶圆边缘产生毛边，提高涂胶效果，还可以对晶圆上胶水层的厚度、大小以及胶水量进行精准把控，从而可以有效避免胶水过厚的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 薄片 漂浮 二次 覆盖 涂胶 装置 | ||
【主权项】：
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