[实用新型]一种防止超薄片晶圆漂浮的二次非全覆盖式涂胶装置

权利要求书

1.一种防止超薄片晶圆漂浮的二次非全覆盖式涂胶装置，包括立架(1)，其特征在于：所述立架(1)内部下端安装有伺服电动缸(11)，所述伺服电动缸(11)输出端安装有支撑盘(12)，所述立架(1)上端安装有电机(13)，所述电机(13)输出端连接有转盘(14)，所述转盘(14)转动安装在立架(1)内部顶端，所述转盘(14)下端安装有夹板(31)，所述夹板(31)内部下端安装有存液箱(3)，所述存液箱(3)内部滑动有活塞板(32)，所述活塞板(32)和夹板(31)内部顶壁之间连接有若干个电动伸缩杆(33)，所述存液箱(3)下端设有一排若干个排液管口(36)，若干个所述排液管口(36)大小不一，且所述排液管口(36)大小从存液箱(3)下端中心向存液箱(3)下端侧边逐渐变大；

所述存液箱(3)两侧壁下端皆连接有抚平板(4)，每个所述抚平板(4)上皆滑动有两个移动滑块(41)，每个所述抚平板(4)上皆设有移动槽(42)，每个所述移动滑块(41)内部皆设有升降槽(48)，所述升降槽(48)上滑动有连杆(43)，且所述连杆(43)另一端贯穿移动槽(42)，所述连杆(43)和升降槽(48)顶壁之间连接有挤压弹簧(49)，两个相对的所述连杆(43)之间连接有侧刮板(44)，所述存液箱(3)下端设有两个挡条(45)，每个所述挡条(45)下端皆连接有滑动在抚平板(4)上的支撑条(46)，两个所述支撑条(46)和两个侧刮板(44)一一对应，且相对应的所述支撑条(46)和侧刮板(44)之间连接有伸缩杆(47)。

2.根据权利要求1所述的一种防止超薄片晶圆漂浮的二次非全覆盖式涂胶装置，其特征在于：所述支撑盘(12)上安装有真空吸盘(15)，所述真空吸盘(15)上的吸盘位于支撑盘(12)中心。

3.根据权利要求1所述的一种防止超薄片晶圆漂浮的二次非全覆盖式涂胶装置，其特征在于：所述存液箱(3)一侧设有观察窗口(34)，所述观察窗口(34)旁设有距离刻度(35)。

4.根据权利要求1所述的一种防止超薄片晶圆漂浮的二次非全覆盖式涂胶装置，其特征在于：所述存液箱(3)侧壁上安装有调节条(2)，所述调节条(2)内部设有两个空槽(21)，每个所述空槽(21)内部皆转动安装有螺杆(22)，两个所述螺杆(22)上的螺纹纹路相反，且两个所述螺杆(22)轴心相连，每个所述螺杆(22)上皆螺纹连接有调节块(23)，所述调节块(23)和移动滑块(41)连接，所述调节条(2)一侧设有和螺杆(22)轴心连接的调节盘(24)。

5.根据权利要求1所述的一种防止超薄片晶圆漂浮的二次非全覆盖式涂胶装置，其特征在于：两个所述挡条(45)和存液箱(3)下端紧紧接触。