[实用新型]一种四氯化硅输送系统有效
| 申请号： | 202221734802.1 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN217894433U | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 彭中;李作国;杜炳胜;汪云清;杨强;鲁焕平;王大和 | 申请（专利权）人： | 云南通威高纯晶硅有限公司 |
| 主分类号： | B65G53/06 | 分类号： | B65G53/06;B65G53/34;B65G53/58;B65G53/36 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 王艳平 |
| 地址： | 678100 云*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种四氯化硅输送系统，属于多晶硅生产中输送设备技术领域，包括一级缓冲罐和二级缓冲罐，一级缓冲罐通过管线I连接二级缓冲罐，管线I上设有输送泵I，所述一级缓冲罐连接有四氯化硅进料管线、氢气管线I和废气管I，所述二级缓冲罐上连接有氢气管线II、废气管II和四氯化硅排放管线，四氯化硅排放管线上设有输送泵II，解决了现有技术中多晶硅生产工艺的冷氢化工段的原料四氯化硅的输送系统，涉及的设备成本较高、投资量大，且系统运行效率较低，运行成本高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 输送 系统 | ||
【主权项】：
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