[实用新型]一种四氯化硅输送系统

权利要求书

1.一种四氯化硅输送系统，其特征在于：包括一级缓冲罐（1）和二级缓冲罐（2），一级缓冲罐（1）通过管线I（3）连接二级缓冲罐（2），管线I（3）上设有输送泵I（4），所述一级缓冲罐（1）连接有四氯化硅进料管线（5）、氢气管线I（6）和废气管I（7），所述二级缓冲罐（2）上连接有氢气管线II（8）、废气管II（9）和四氯化硅排放管线（10），四氯化硅排放管线（10）上设有输送泵II（19）。

2.根据权利要求1所述的一种四氯化硅输送系统，其特征在于：所述一级缓冲罐（1）上设有压力计I（11），废气管I（7）上设有调节阀I（12），氢气管线I（6）上设有调节阀II（13），压力计I（11）分别与调节阀I（12）、调节阀II（13）控制连接。

3.根据权利要求1所述的一种四氯化硅输送系统，其特征在于：所述二级缓冲罐（2）上设有压力计II（14），废气管II（9）上设有调节阀III（15），氢气管线II（8）上设有调节阀IV（16），压力计II（14）分别与调节阀III（15）、调节阀IV（16）控制连接。

4.根据权利要求1所述的一种四氯化硅输送系统，其特征在于：所述二级缓冲罐（2）设有液位计（17），管线I（3）上设有调节阀V（18），液位计（17）与调节阀V（18）控制相连。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种四氯化硅输送系统，其特征在于：所述氢气管线I（6）为1.0MPa氢气管线。

6.根据权利要求1-4任一项所述的一种四氯化硅输送系统，其特征在于：所述氢气管线II（8）为2.4MPa氢气管线。