[实用新型]四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置有效
| 申请号： | 202221642861.6 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN218350145U | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 吴迪;朱涛;杨勇;高恬曼;黄玉玲;陶昕辰;司俊文;朱厚森;张泽宇 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 唐静芳 |
| 地址： | 215006 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本说明书实施例提供一种四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，属于图像采集技术领域，包括检测光源组件、相位板、第一傅里叶变换透镜、半透半反镜及第二傅里叶变换透镜；检测光源组件、相位板、第一傅里叶变换透镜、半透半反镜、第二傅里叶变换透镜及图像采集装置同光轴地依次设置；待检测晶体位于第一傅里叶变换透镜和第二傅里叶变换透镜重合的焦平面上，具有将晶体内部缺陷的相位信息转化为灰度信息，便于后续基于晶体缺陷图像对晶体缺陷进行分析的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 焦距 相位 相干 成像 光学 测量 机器 视觉 装置 | ||
【主权项】：
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