[实用新型]一种带有清洁功能的真空手臂

摘要

本实用新型提供一种带有清洁功能的真空手臂，其中手臂板为一端直臂、另一端带有两个延伸臂的平板，延伸臂下端设有吸附层，延伸臂上贯穿设有操作孔，操作孔穿入设有吸嘴，直臂上端设有正压电磁阀、负压电磁阀，两者分别连于四通管的两个输入端，四通管的两个输出端分别连于两个吸嘴。将吸嘴作为吸附孔，将吸附层作为吸附面，在针对手臂板延伸臂实施晶圆的多次吸附作业后，通过更换电磁阀气路对吸嘴内的尘埃堵塞进行一次性吹气清除，下端面吸附层的聚四氟乙烯材质提供防粘性及润滑性，以避免灰尘粘附并为晶圆提供光滑平整的贴合面，以此对真空手臂吸盘孔及吸盘面的堵塞、污染实施简易高效的清洁操作，避免生产损失并保障晶圆生产工艺的正常实施。