[实用新型]一种电子束蒸发镀膜设备隔离阀防护机构有效
| 申请号： | 202221546342.X | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN218435922U | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 杜鸿基;陈亮 | 申请（专利权）人： | 北京维开科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京天汇航智知识产权代理事务所(普通合伙) 11987 | 代理人： | 高永 |
| 地址： | 101300 北京市顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子束蒸发镀膜设备隔离阀防护机构，所述防护机构包括顶升装置和防护挡板，所述顶升装置安装在电子束蒸发镀膜设备的工件装载舱体中，顶升装置带动防护挡板实现升降，防护挡板升降时紧贴隔离阀中间的闸板封闭区域内壁；防护挡板运行至上限位时，隔离阀中间的闸板封闭区域空出，隔离阀的闸板能够在隔离阀闸板封闭区域移动并关闭隔离阀；隔离阀开启后，防护挡板运行至下限位时，遮挡隔离阀的闸板封闭区域。本防护机构能有效防止蒸镀材料的溅射和堆积，减少过程对隔离阀的维护成本，并提高了隔离阀的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸发 镀膜 设备 隔离 防护 机构 | ||
【主权项】：
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