[实用新型]一种晶圆装卸装置及化学机械抛光系统有效
| 申请号： | 202221496506.2 | 申请日： | 2022-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN217413605U | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 路新春;吴兴;许振杰;王同庆;赵德文;张国铭 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/30;B24B37/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了晶圆装卸装置及化学机械抛光系统，所述晶圆装卸装置包括托架，用于装载和/或卸载晶圆；托架座，连接于托架下方，用于支撑托架；驱动机构，连接于托架座下方，用于驱动托架座沿竖向移动；其中，所述托架的周向配置有喷嘴，并且，所述喷嘴朝向托架中心倾斜向上设置；所述喷嘴朝向上方喷射流体，以清洁保湿位于托架上方的承载头。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装卸 装置 化学 机械抛光 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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