[实用新型]一种集成电路制造厂真空泵排气管排废液结构有效
| 申请号： | 202221490254.2 | 申请日： | 2022-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN217582431U | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 寻家乐 | 申请（专利权）人： | 上海精泰机电系统工程有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/00 | 分类号： | F04B39/00;F04B39/10;F04B37/14 |
| 代理公司： | 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287 | 代理人： | 于晓菁 |
| 地址： | 201206 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种集成电路制造厂真空泵排气管排废液结构，包括真空泵体、消音器、柔性适配管接头、排气主管道。真空泵体底部的真空泵排气口从下到上依次连接垂直设置的消音器及柔性适配管接头，柔性适配管接头与其上方的防废液倒流管连接，防废液倒流管由两端水平布置的进气端和出气端，以及中间段组成，中间段为向下倾斜管路结构，防废液倒流管的出气端与垂直设置的排气主管道连通，所述废液倒流管的出气端与排气主管道连接处以下管道从上至下依次设置上端球阀、透明观察管和下端球阀。本实用新型可减轻废液对真空泵运转部件的腐蚀、降低真空泵定期保养频率、增强运行稳定性、降低故障率并延长真空泵使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 制造厂 真空泵 排气管 废液 结构 | ||
【主权项】：
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