[实用新型]一种集成电路制造厂真空泵排气管排废液结构

权利要求书

1.一种集成电路制造厂真空泵排气管排废液结构，包括真空泵体(4)、消音器(6)、柔性适配管接头(7)、排气主管道(12)，其特征在于，所述真空泵体(4)底部的真空泵排气口(5)从下到上依次连接垂直设置的消音器(6)及柔性适配管接头(7)，所述柔性适配管接头(7)与其上方的防废液倒流管(8)连接，所述防废液倒流管(8)由两端水平布置的进气端和出气端，以及中间段组成，所述中间段为向下倾斜管路结构，所述防废液倒流管(8)的出气端与垂直设置的排气主管道(12)连通，所述防废液倒流管(8)的出气端与排气主管道(12)连接处以下管道从上至下依次设置上端球阀(9)、透明观察管(10)和下端球阀(11)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造厂真空泵排气管排废液结构，其特征在于，所述防废液倒流管(8)的中间段的向下倾斜管路结构的倾斜角度大于等于30°。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路制造厂真空泵排气管排废液结构，其特征在于，所述进气端与所述出气端的间距大于250mm。