[实用新型]明暗场检测装置有效
| 申请号： | 202221411200.2 | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN217655026U | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 李英甲;于大维;刁雷;李润芝;蓝科 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种明暗场检测装置，用于检测基板上的待测区域，包括：明场照明单元、暗场照明单元、物镜单元及探测单元；明场照明单元出射的光束经物镜单元后在待测区域产生明场光斑，暗场照明单元出射的光束在待测区域产生暗场光斑，明场光斑及暗场光斑的反射光或散射光经物镜单元后被探测单元采集，其中，明场照明单元中设有明场光斑偏置单元，利用明场光斑偏置单元使明场光斑与暗场光斑的间隔距离大于设定值。本实用新型，通过设置明场光斑偏置单元，使明场光斑发生偏置，以增大明场光斑与暗场光斑的间距，以此减少两者之间的串扰，还可利用明场光斑偏置单元提高基板的焦面标定的准确性，以及提高暗场照明单元的安装精度。 | ||
| 搜索关键词： | 明暗 检测 装置 | ||
【主权项】：
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