[实用新型]明暗场检测装置

权利要求书

1.一种明暗场检测装置，用于检测基板上的待测区域，其特征在于，包括：明场照明单元、暗场照明单元、物镜单元及探测单元；所述明场照明单元出射的光束经所述物镜单元后在所述待测区域产生明场光斑，所述暗场照明单元出射的光束在所述待测区域产生暗场光斑，所述明场光斑及所述暗场光斑的反射光或散射光经所述物镜单元后被所述探测单元采集，其中，所述明场照明单元中设有明场光斑偏置单元，利用所述明场光斑偏置单元使所述明场光斑与所述暗场光斑的间隔距离大于设定值。

2.根据权利要求1所述的明暗场检测装置，其特征在于，所述明场照明单元包括明场光源、明场照明前组及明场照明中组，所述明场光斑偏置单元设于所述明场照明前组与所述明场照明中组之间，所述明场光斑偏置单元包括偏离于所述明场照明前组的光轴的偏置视场光阑。

3.根据权利要求2所述的明暗场检测装置，其特征在于，所述偏置视场光阑为矩形光阑，所述矩形光阑与所述明场照明前组的光轴的偏置距离大于0.5mm，所述明场光斑与所述物镜单元的视场中心的偏离距离大于0.4mm。

4.根据权利要求3所述的明暗场检测装置，其特征在于，所述明场光斑偏置单元还包括调整单元，利用所述调整单元调节所述偏置视场光阑的偏置距离及偏置方向。

5.根据权利要求2所述的明暗场检测装置，其特征在于，所述明场照明中组包括沿所述明场照明单元的光轴依次设置的负透镜、胶合镜及正透镜。

6.根据权利要求3所述的明暗场检测装置，其特征在于，所述暗场光斑呈矩形，且所述暗场光斑位于所述物镜单元的视场中心的远离所述明场光斑的一侧。

7.根据权利要求1所述的明暗场检测装置，其特征在于，所述暗场照明单元包括至少三路分支光路，至少三路所述分支光路形成环形照射，每路所述分支光路各包括暗场光源及暗场光路整形模块。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的明暗场检测装置，其特征在于，所述探测单元包括明场探测单元、暗场探测单元以及大靶面探测单元，所述明场探测单元用于采集所述明场光斑，所述暗场探测单元用于采集所述暗场光斑，所述大靶面探测单元用于采集所述明场光斑和所述暗场光斑。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的明暗场检测装置，其特征在于，所述明场照明单元及所述暗场照明单元的光源均为宽带光源。

10.根据权利要求9所述的明暗场检测装置，其特征在于，还包括若干滤光单元，所述滤光单元设于所述探测单元与所述物镜单元之间，用于不同光波段的明暗场检测。