[实用新型]鳍式场效应晶体管有效
| 申请号： | 202221245628.4 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN217280787U | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 岳丹诚 | 申请（专利权）人： | 苏州华太电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L23/373;H01L29/10;H01L21/336 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种鳍式场效应晶体管。所述鳍式场效应晶体管包括碳化硅衬底、形成在所述碳化硅衬底上的埋氧化层、形成在所述埋氧化层的鳍式结构以及与所述鳍式结构配合的源极、漏极和栅极，与栅极接触的鳍式结构作为沟道区域，所述源极、漏极沿第二方向设置在所述沟道区域的两侧极。本实用新型提供的鳍式场效应晶体管，鳍式结构下方的埋氧化层阻止了电流泄放通路，降低了静态功耗，且减小了寄生电容。 | ||
| 搜索关键词： | 场效应 晶体管 | ||
【主权项】：
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