[实用新型]一种分子束外延专用气液分离器

摘要

本实用新型公开了一种分子束外延专用气液分离器，包括分离箱，所述分离箱的一侧端部设置有进料管，所述分离箱的内底部设置有多个出液管，所述分离箱的内壁固定有隔板，所述隔板的底部贯穿开设有多个通槽，所述分离箱的上端固定有抽风机，所述抽风机的进气口贯穿至分离箱内部，所述分离箱的内部设置有触发装置。本装置中，利用液氮的泵送，能够实现汽化后氮气的缓慢排出，而在液氮汽化量增多时，可在触发装置作用下，自动实现抽风机的启动，从而能够实现加快的汽化后氮气的抽取，能够使得分离箱内部气液分离效果更好，而在液氮汽化量正常时，可自动实现抽风机的关闭，在保证液氨气液分离的同时可有效减少能源消耗。