[实用新型]一种分子束外延专用气液分离器

说明书

本实用新型公开了一种分子束外延专用气液分离器，包括分离箱，所述分离箱的一侧端部设置有进料管，所述分离箱的内底部设置有多个出液管，所述分离箱的内壁固定有隔板，所述隔板的底部贯穿开设有多个通槽，所述分离箱的上端固定有抽风机，所述抽风机的进气口贯穿至分离箱内部，所述分离箱的内部设置有触发装置。本装置中，利用液氮的泵送，能够实现汽化后氮气的缓慢排出，而在液氮汽化量增多时，可在触发装置作用下，自动实现抽风机的启动，从而能够实现加快的汽化后氮气的抽取，能够使得分离箱内部气液分离效果更好，而在液氮汽化量正常时，可自动实现抽风机的关闭，在保证液氨气液分离的同时可有效减少能源消耗。

技术领域

本实用新型涉及气液分离器技术领域，尤其涉及一种分子束外延专用气液分离器。

背景技术

分子束外延是新发展起来的外延制膜方法，也是一种特殊的真空镀膜工艺，是在适当的衬底与合适的条件下，沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法，在分子束外延工艺条件需要纯液氮环境下芯片的制造，因而需要借助液氮气液分离器将汽化的氮气要及时排出，保证分子束外延设备的正常使用；

而传统用于分子束外延设备的气液分离器大多采用填料分离的方式进行气液缓慢分离，而在液氮汽化量较多时这种方式的分离效果较差，而且在氮气排出过程中会携带液氮随之排出，从而会造成液氮的浪费，因而我们需要设计一款可减少液氮浪费的分子束外延专用气液分离器。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中液氮会随气体排出的缺点，而提出的一种分子束外延专用气液分离器。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种分子束外延专用气液分离器，包括分离箱，所述分离箱的一侧端部设置有进料管，所述分离箱的内底部设置有多个出液管，所述分离箱的内壁固定有隔板，所述隔板的底部贯穿开设有多个通槽，所述分离箱的上端固定有抽风机，所述抽风机的进气口贯穿至分离箱内部，所述隔板的上端设置有分离装置，所述分离箱的内部设置有触发装置。

优选地，所述分离装置包括固定于隔板上端的滤板，所述滤板的上端与分离箱内顶部固定，所述滤板的侧壁贯穿开设有安装槽，所述安装槽的内壁固定有透气膜。

优选地，所述隔板的上端贯穿开设有多个回流槽，每个所述回流槽的内部均设置有单向阀，所述单向阀的导通状态为隔板上端至隔板下方。

优选地，所述滤板倾斜设置，多个所述回流槽均与滤板对应。

优选地，所述触发装置包括固定于分离箱内壁的固定块，所述固定块的内壁固定有控制按钮，所述固定块的内壁密封滑动连接有滑板，所述滑板与控制按钮对应，所述控制按钮与抽风机启闭电路连通。

优选地，所述固定块的内壁固定有环形板，所述环形板的侧壁与滑板侧壁通过连接弹簧连接，所述固定块的内壁固定有斜挡板。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

1、本装置中，利用液氮的持续泵送，能够实现汽化后氮气的缓慢排出，而在液氮汽化量增多时，可在触发装置作用下，自动实现抽风机的启动，从而能够实现加快的汽化后氮气的抽取，能够使得分离箱内部气液分离效果更好，而在液氮汽化量正常时，可自动实现抽风机的关闭，在保证液氨气液分离的同时可有效减少能源消耗；

2、本装置中，通过设置倾斜设置的滤板和在滤板内部设置透气膜，能够在气体流通通道上对气体中液氨进行阻挡，能够保证气体中液氨沿着回流槽再次进入分离箱内部，能够避免气液分离时液氨的随之流出，可减少液氨的流失。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种分子束外延专用气液分离器的结构示意图；

图2为图1中A部分的放大图；

图3为本实用新型提出的一种分子束外延专用气液分离器中触发装置部分的主剖视图。