[实用新型]一种水冷型高热导等离子体反应腔有效
| 申请号： | 202221202417.2 | 申请日： | 2022-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN217768287U | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 汪晓平;王振中 | 申请（专利权）人： | 长三角先进材料研究院 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京智造力知识产权代理有限公司 32382 | 代理人： | 汪芬 |
| 地址： | 215132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种水冷型高热导等离子体反应腔，包括反应腔体、冷却基底和真空腔室，反应腔体的开口端朝向真空腔室且延伸至真空腔室内，冷却基底套装在反应腔体的外部，且冷却基底的上表面与真空腔室的开口端相互接触，将反应腔体和真空腔室内部的空腔连通成一个整体；在与反应腔体外壁接触的冷却基底内壁面开设冷却腔，冷却腔环绕反应腔体外壁面设置且冷却腔内的冷却液可以直接与反应腔体直接接触；本申请中冷却基底和反应腔体也选用高热导性材料，通过冷却液与高热导的反应腔体直接接触冷却，能够大幅度提高冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水冷 高热 等离子体 反应 | ||
【主权项】：
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