[实用新型]一种低碳单晶热场的上部保温结构有效
申请号: | 202221104418.3 | 申请日: | 2022-05-10 |
公开(公告)号: | CN217266138U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 汪沛渊;许堃;吴超慧 | 申请(专利权)人: | 宇泽半导体(云南)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 张玺 |
地址: | 675000 云南省楚雄彝族*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种低碳单晶热场的上部保温结构,包括坩埚,坩埚的内部设置有导流筒,导流筒的上部设置有导流筒盖毡,导流筒的顶部外侧设置有定位环,导流筒盖毡的外侧安装有盖毡保护环,坩埚的顶部位于导流筒盖毡的外侧安装有顶部保温盖板,顶部保温盖板为环形结构,且内侧壁靠近盖毡保护环处安装有导流筒定位环。该低碳单晶热场的上部保温结构中,可以有效的降低导流筒盖毡及顶部保温盖板的老化,同时,可以有效的避免固化毡上脱落的碳粉在导流筒升降时而落入坩埚中,可大大降低单晶的碳含量,减少碳含量反切,同时也可延长导流筒盖毡及顶部保温盖板的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 低碳单晶热场 上部 保温 结构 | ||
【主权项】:
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