[实用新型]一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统有效
申请号: | 202221099720.4 | 申请日: | 2022-05-10 |
公开(公告)号: | CN217504147U | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 陈绍林;彭中;程茂林;贾琳蔚;王亚萍 | 申请(专利权)人: | 四川永祥能源科技有限公司 |
主分类号: | F25J3/02 | 分类号: | F25J3/02;C01B33/107 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 潘涛 |
地址: | 614899 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统,属于多晶硅生产技术领域,全厂含氯硅烷尾气通过第一冷却器、第二冷却器和第三冷却器完成初步冷却后进入压缩机,压缩完成后完成三次冷凝和分离,减少能耗使用。本实用新型具有减少固定投资、废气中氯硅烷回收更彻底和减少能耗使用等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 硅含氯 硅烷 尾气 节能 回收 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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