[实用新型]一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统，属于多晶硅生产技术领域，全厂含氯硅烷尾气通过第一冷却器、第二冷却器和第三冷却器完成初步冷却后进入压缩机，压缩完成后完成三次冷凝和分离，减少能耗使用。本实用新型具有减少固定投资、废气中氯硅烷回收更彻底和减少能耗使用等优点。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统。

背景技术

多晶硅生产过程中，各单元泄放的含氢废气中含有微量的氯硅烷，如果不对这部分氯硅烷进行回收利用，将导致多晶硅的制造成本增加。传统工艺对此部分含氯硅烷的气体的处理方式为，各单元产生的含氢废气先进入一级水洗塔，用工厂水喷淋水解，产生二氧化硅和氯化氢后，尾气再进入二级洗涤塔，尾气中的氯化氢吸收被水吸收变成盐酸，用PH为11-13的稀碱液，将盐酸中和，反应尾气经水封罐吸收后，在高点排入大气。其原理为先水解成氯化氢和二氧化硅后，用碱液对盐酸进行中和反应。因此，传统工艺存在以下问题：(1)需消耗大量的工厂水和32％液碱，增加原材料消耗，增加固废物的产生量。(2)水解产生大量的二氧化硅，需通过压滤机压滤后，作为固废填埋，增加环保处置费用。(3)二氧化硅的粒径很小，常用的压滤机不能有效去除，导致出水中的悬浮物较高，不能达标排放，造成环境影响，增加处理难度。(4)氯硅烷作为废弃物进行处理，得不到有效的利用。

公开号为CN110280098A，公开日为2019.09.27的中国专利公开了一种含氢废气中氯硅烷的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)收集各单元排放的含氢废气后，加压、降温，再采用活性炭吸附塔对氯硅烷进行吸附；(2)活性炭吸附塔氯硅烷吸附饱和后，对活性炭吸附柱加热、减压，由顶部通入氮气进行吹扫，将吸附在活性炭氯硅烷再生出来；(3)再生出来的氯硅烷降温冷凝到-40℃后，进行气液分离，气相氯硅烷经升温后，返回到步骤(1)的加压过程；(4)分离出来的液态氯硅烷采用树脂吸附塔除杂后，可并入系统使用。该回收方法中的回收系统仍然存在能耗高、设备投资高和氯硅烷分离效果低等缺点。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术中存在的问题，提供一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统，全厂含氯硅烷尾气通过第一冷却器、第二冷却器和第三冷却器完成初步冷却后进入压缩机，压缩完成后完成三次冷凝和分离，减少能耗使用。本实用新型具有减少固定投资、废气中氯硅烷回收更彻底和减少能耗使用等优点。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统，包括尾气总进管，其特征在于：所述尾气总进管与第一冷却器的热介质入口相连，所述第一冷却器的热介质出口与第二冷却器的热介质入口相连，所述第二冷却器的热介质出口与第三冷却器的热介质入口相连，所述第三冷却器的热介质出口与压缩机的进气口相连，所述压缩机的出气口与第四冷却器的热介质入口，所述第四冷却器的热介质出口与第一分离罐的入口相连，所述第一分离罐的出气端与第五冷却器的热介质入口相连，所述第五冷却器的热介质出口与第二分离罐的入口相连，所述第二分离罐的出气口与氟利昂冷却器的热介质入口相连，所述氟利昂冷却器的热介质出口与第三分离罐的进口相连，所述第一分离罐、第二分离罐和第三分离罐的出液口与氯硅烷冷凝液罐的入口相连。

优选的，所述第一冷却器和第四冷却器的冷介质入口与循环水上水管相连，所述第一冷却器和第四冷却器的冷介质出口与循环水回水管相连。

优选的，所述第二冷却器的冷介质入口与7℃水上水管相连，所述第二冷却器的冷介质出口与7℃水回水管相连。

优选的，所述第三冷却器的冷介质入口与氯硅烷冷凝液罐的出液口相连，所述第三冷却器的冷介质出口与氯硅烷凝液出管相连。

优选的，所述第五冷却器的冷介质入口与第三分离罐的出气口相连，所述第五冷却器的冷介质出口与排空管相连。

优选的，所述氯硅烷冷凝液罐的出气口与第三分离罐的进气口相连。