[实用新型]一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统

权利要求书

1.一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统，包括尾气总进管（1），其特征在于：所述尾气总进管（1）与第一冷却器（2）的热介质入口相连，所述第一冷却器（2）的热介质出口与第二冷却器（3）的热介质入口相连，所述第二冷却器（3）的热介质出口与第三冷却器（4）的热介质入口相连，所述第三冷却器（4）的热介质出口与压缩机（5）的进气口相连，所述压缩机（5）的出气口与第四冷却器（6）的热介质入口，所述第四冷却器（6）的热介质出口与第一分离罐（7）的入口相连，所述第一分离罐（7）的出气端与第五冷却器（8）的热介质入口相连，所述第五冷却器（8）的热介质出口与第二分离罐（9）的入口相连，所述第二分离罐（9）的出气口与氟利昂冷却器（10）的热介质入口相连，所述氟利昂冷却器（10）的热介质出口与第三分离罐（11）的进口相连，所述第一分离罐（7）、第二分离罐（9）和第三分离罐（11）的出液口与氯硅烷冷凝液罐（12）的入口相连。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统，其特征在于：所述第一冷却器（2）和第四冷却器（6）的冷介质入口与循环水上水管（14）相连，所述第一冷却器（2）和第四冷却器（6）的冷介质出口与循环水回水管（15）相连。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统，其特征在于：所述第二冷却器（3）的冷介质入口与7℃水上水管（16）相连，所述第二冷却器（3）的冷介质出口与7℃水回水管（17）相连。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统，其特征在于：所述第三冷却器（4）的冷介质入口与氯硅烷冷凝液罐（12）的出液口相连，所述第三冷却器（4）的冷介质出口与氯硅烷凝液出管（18）相连。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统，其特征在于：所述第五冷却器（8）的冷介质入口与第三分离罐（11）的出气口相连，所述第五冷却器（8）的冷介质出口与排空管（19）相连。

6.根据权利要求1或5所述的一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统，其特征在于：所述氯硅烷冷凝液罐（12）的出气口与第三分离罐（11）的进气口相连。

7.根据权利要求6所述的一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统，其特征在于：所述尾气总进管（1）与还原废气进管（1.1）、尾气回收管（1.2）、精馏废气进管（1.3）、罐区废气进管（1.4）、冷氢化废气进管（1.5）和其他含氯硅烷废气进管（1.6）相连。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统，其特征在于：所述压缩机（5）的进气端还与其他含氢气或氯化氢废气进管（13）相连。