[实用新型]一种氧化铝陶瓷基板定位校准装置有效
| 申请号： | 202221067655.7 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN217521970U | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 施俊男;江永平;周建操;蒙碧青 | 申请（专利权）人： | 湖北华清新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人： | 赵永强 |
| 地址： | 442000 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种氧化铝陶瓷基板定位校准装置，包括陶瓷基板主体，所述陶瓷基板主体的下方设有箱体，所述箱体的下表面固定有四个支撑柱，所述箱体内部设有调节机构，所述调节机构上设有定位机构；所述调节机构包括与箱体内腔左侧壁通过轴承座转动连接且贯穿并延伸至箱体右侧的第一螺杆，所述第一螺杆的外表面螺纹连接有两个螺纹块，所述螺纹块的上表面固定有贯穿并延伸至箱体顶部的固定杆。该氧化铝陶瓷基板定位校准装置，通过设有调节机构，调节机构可以转动手轮，调节两个固定板的间距，从而对不同的氧化铝陶瓷基板进行放置，相比于传统的氧化铝陶瓷基板定位校准装置，适用范围更广，可对不同尺寸的陶瓷基板进行操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化铝陶瓷 定位 校准 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
