[实用新型]一种远程等离子体源连接管温度控制装置有效
| 申请号： | 202221040936.3 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN217279382U | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 倪鹏玉;徐尔强;王武鹏;王小海;王宏 | 申请（专利权）人： | 福建金石能源有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 张娟娟 |
| 地址： | 362200 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种远程等离子体源连接管温度控制装置，它包括设置于连接管外的冷却组件以及对连接管温度进行监测以控制冷却组件工作的控制组件；所述控制组件包括对连接管进行温度监测的温度传感器以及与温度传感器进行信号连接且对冷却组件的工作状态进行控制的控制主机。本实用新型的目的在于提供一种远程等离子体源连接管温度控制装置，以将连接管的温度控制在O型环正常工作温度范围，减少设备腔体升降温时间和维护时间，提高清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 远程 等离子体 接管 温度 控制 装置 | ||
【主权项】：
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