[实用新型]一种远程等离子体源连接管温度控制装置

说明书

本实用新型涉及一种远程等离子体源连接管温度控制装置，它包括设置于连接管外的冷却组件以及对连接管温度进行监测以控制冷却组件工作的控制组件；所述控制组件包括对连接管进行温度监测的温度传感器以及与温度传感器进行信号连接且对冷却组件的工作状态进行控制的控制主机。本实用新型的目的在于提供一种远程等离子体源连接管温度控制装置，以将连接管的温度控制在O型环正常工作温度范围，减少设备腔体升降温时间和维护时间，提高清洗效率。

技术领域

本实用新型涉及一种远程等离子体源连接管温度控制装置。

背景技术

PECVD腔室在成膜过程中会在腔室内壁形成共沉积。沉积于腔室内壁的薄膜很可能会因应力脱落而形成颗粒，影响成膜质量，尤其是对于异质结太阳能电池片，即使很小的颗粒杂质都会造成点缺陷等产品不良现象。为此，PECVD腔室在执行多次沉积工艺后，通常需要清洁以移除形成在腔室内壁的沉积残余物。为了在进行PECVD腔室清洁时获得更高的刻蚀速率，便会采用远程等离子体方式来对腔体进行清洁，通常清洁用远程等离子体采用的是含氟活性基团的等离子体。

远程等离子体源(Remote Plasma Source，RPS)经由连接管向PECVD腔室内部供应等离子体时，连接管及固定连接管的法兰的温度会升高，由此易引起法兰卡环内圈设置的O型环因温度过高而损坏失效，造成PECVD腔室的真空度下降和气体泄漏。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种远程等离子体源连接管温度控制装置，以将连接管的温度控制在O型环正常工作温度范围，减少设备腔体升降温时间和维护时间，提高清洗效率。

本实用新型的目的通过如下技术方案实现：

一种远程等离子体源连接管温度控制装置，它包括设置于连接管外的冷却组件以及对连接管温度进行监测以控制冷却组件工作的控制组件；所述控制组件包括对连接管进行温度监测的温度传感器以及与温度传感器进行信号连接且对冷却组件的工作状态进行控制的控制主机。

较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：

利用冷却组件与控制组件的配合，将输送清洗用远程等离子体的连接管的温度控制在O型环正常工作温度范围，减少设备腔体升降温时间和维护时间，提高清洗效率，增加设备利用率，提升产能。

附图说明

图1是本实用新型一种远程等离子体源连接管温度控制装置的实施例的结构简图。

图2是冷却管和连接管的结构简图。

图3是图2的剖视简图。

标号说明：1工作腔体、11腔体内壁、2气体供应组件、21气体连接部、3插板阀、4连接管、41卡环、5远程等离子源、6冷却管路、61冷却管、611冷却管接头、62导热连接层、7流体阀门、8流量控制器、9温度传感器、10控制主机。

具体实施方式

一种远程等离子体源连接管温度控制装置，它包括设置于连接管外的冷却组件以及对连接管温度进行监测以控制冷却组件工作的控制组件；所述控制组件包括对连接管进行温度监测的温度传感器以及与温度传感器进行信号连接且对冷却组件的工作状态进行控制的控制主机。

所述温度传感器对连接管的法兰卡环温度进行监测。

所述冷却组件包括设于连接管外且供热交换流体流动的冷却管路以及与冷却管路进口连接且与控制主机进行信号连接的流量控制单元。

所述流量控制单元包括控制冷却管路开闭的流体阀门以及控制热交换流体流量的流量控制器。

所述冷却管路包括螺旋缠绕于连接管外壁上的冷却管。

所述冷却管与连接管之间设有实现弧面接触固定的导热连接层。